Centro de Nanofabricación

El Centro de Nanofabricación "NanoFabLab" de IMDEA Nanociencia está ubicado en una sala limpia de 200 m², repartidos en dos zonas. Una primera zona, con calidad de aire ISO-5 (equivalente a CL-100) con un área aproximada de 60 m², está dedicada a los servicios de litografía electrónica, litografía óptica y litografía nano-imprint; junto con una sala de química para procesos de preparación de superficies, resinas y revelado. Una segunda zona, con una superficie útil aproximada de 140m² y una calidad de aire ISO-6 (CL-1000), se dedica a la preparación de capas de película delgada mediante deposición de capa atómica (ALD), evaporación térmica y 'sputtering', así como al ataque mediante haces de iones reactivos. También consta de un área para encapsulado de dispositivos, recocido y vitrificación de muestras, caracterización eléctrica, perfilometría, o microscopía óptica. Además, en esta zona ISO-6 también existe una sala aislada para procesos en bancada de química húmeda.

 
.

En el Centro de Nanofabricación, participamos activamente en proyectos de investigación relacionados con dispositivos basados en materiales 2D para la electrónica, memristores cuánticos, detectores de fotones individuales y emisores de fotones individuales, detectores THz basados en superconductores para aplicaciones espaciales y resonadores de microondas superconductores para la computación cuántica (en colaboración con CAB-CSIC/INTA).

Además, brindamos soporte de nanofabricación a grupos de investigación sobre una variedad de temas como materiales de baja dimensionalidad, fermiones de Majorana, centros de vacantes de nitrógeno, interacciones vórtice-materia en dispositivos magnéticos-superconductores, esquirmiónica, funciones físicas no clonables, generadores de números aleatorios cuánticos y metrología cuántica.

En el centro se fabrican y analizan muestras de diversos tipos:

• Semiconductores para microelectrónica (silicio, óxido de silicio, nitruro de silicio, InGaAs, etc).
• Materiales 2D (grafeno, MoS2).
• Multicapas metálicas (magnéticas, superconductoras).
• Superficies poliméricas micro y nanoestructuradas.
• Muestras biológicas (células y bacterias sobre diferentes sustratos, sistemas para mejorar la eficacia y precisión en la localización de la entrega de medicamentos).

Las muestras se conservan desde el momento de la recepción hasta la entrega, en cajas desecadoras en atmósfera de nitrógeno, en condiciones constantes de temperatura (20C) y humedad (45-50%). Aquellas muestras sensibles a la radiación ultravioleta, se almacenan específicamente en un desecador con filtros adecuados a este tipo de radiación.

Se dispone a su vez de desecadores en vacío, cuando las características de la muestra así lo requieren.

La manipulación de muestras se realiza siempre en un entorno limpio y utilizando pinzas antiestáticas acordes al tipo de muestra.