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En el Centro de Nanofabricación, fabricamos y analizamos diversos tipos de dispositivos:
- Semiconductores para microelectrónica: Silicio, óxido de silicio, nitruro de silicio, InGaAs, entre otros.
- Materiales 2D: Grafeno, MoS₂ TMDS, HBN.
- Multicapas metálicas: Magnéticas y superconductoras.
- Superficies poliméricas micro y nanoestructuradas.
- Dispositivos de micro y nanofluídica para sistemas celulares y bacterianos sobre diferentes sustratos, sistemas para mejorar la eficacia y precisión en la entrega de medicamentos.
Los dispositivos se conservan desde la recepción hasta la entrega en cajas desecadoras en atmósfera de nitrógeno, manteniendo condiciones constantes de temperatura (20 °C) y humedad (45-50%). Los dispositivos sensibles a la radiación ultravioleta se almacenan en desecadores con filtros adecuados para este tipo de radiación. También disponemos de desecadores en vacío para dispositivos que lo requieran.
La manipulación de dispositivos se realiza siempre en un entorno limpio y utilizando pinzas antiestáticas acordes al tipo de dispositivo, garantizando la integridad y calidad de los materiales procesados.
En nuestro centro, ofrecemos una amplia gama de ensayos y caracterizaciones para dispositivos, incluyendo:
- Análisis Estructural: Mediante microscopios electrónicos de barrido (FIB-SEM y UHR-SEM) con capacidades avanzadas como análisis de materiales mediante dispersión de rayos X (EDX).
- Caracterización Eléctrica: Utilizando sistemas de medida de transporte electrónico con resolución en el rango de los nanoVoltios y picoAmperios.
- Ensayos Térmicos: Horno ultra-rápido AnnealSys AS-Micro para recocidos, cambios de estructura cristalina y pirolisis en diferentes atmósferas gaseosas.
- Perfilometría: Medición de perfiles de superficie con un perfilómetro mecánico de alta precisión (Bruker Dektak XT).
- Procesos de Litografía: Litografía óptica y sin máscara para la fabricación de estructuras de alta precisión.
- Depósito de Capas delgadas: Crecimiento de capas metálicas y de óxido por evaporación por haz de electrones, pulverización catódica y sistemas de depósito por capa atómica.
- Ataque y Limpieza de Superficies: Equipos de ataque por iones reactivos y de limpieza mediante plasma para preparación y modificación de superficies.
El Centro de Nanofabricación garantiza la máxima calidad y precisión en todos sus procesos, asegurando que los dispositivos desarrollados cumplan con los estándares más exigentes en investigación y aplicación industrial.